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MCPD series 在線評估測試系統(tǒng)

MCPD series 在線評估測試系統(tǒng)

本公司的MCPD series在線膠卷評價系統(tǒng),由于光學(xué)式非接觸·非破壞的膜厚,濃度,顏色等的檢查可能。可測定膜厚范圍為65nm~92μm和薄膜到厚膜都對應(yīng)。(折射率1.5時)測量原理為分光干涉方式,在實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性的同時,還支持多層厚度測量。由于采用了獨(dú)自算法,可以高速實時監(jiān)控,所以作為在線膠片監(jiān)控,我們提出了最適合的系統(tǒng)。...

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產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品信息
  • 式樣

產(chǎn)品信息

  特 點(diǎn)

● 最適合工藝過程中的薄膜高速測量

●最短曝光時間1ms~※根據(jù)規(guī)格

●支持遠(yuǎn)程測量

●膜厚測量范圍65nm~92μm(換算為SiO2)


  基本配置

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  多點(diǎn)測量點(diǎn)切換對應(yīng)系統(tǒng)

在多點(diǎn)測量點(diǎn)切換對應(yīng)系統(tǒng)中,通過在TD方向預(yù)先設(shè)置任意寬度的多分支光纖,可以在不驅(qū)動光纖的情況下測量TD方向的膜厚分布。可以作為涂層的條件和實時監(jiān)視器使用。

檢測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)為1式,通過光纖的光路切換可以進(jìn)行多點(diǎn)測定。

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  橫動單元對應(yīng)系統(tǒng)

在橫動單元對應(yīng)系統(tǒng)中,通過在TD方向上驅(qū)動橫動單元,可以以任意寬度和任意間距測量TD方向的膜厚分布。

可以作為涂層條件提出和實時監(jiān)控使用。 由于通過排線單元的驅(qū)動進(jìn)行多點(diǎn)測量,因此無需準(zhǔn)備多臺檢測器和數(shù)據(jù)處理。

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  即使在真空環(huán)境下也可以在多點(diǎn)進(jìn)行反射、透射光譜測定

通過使用各種法蘭對應(yīng)的耐真空纖維,可以在高真空下測量反射、透射光譜。

另外,膜厚運(yùn)算不易受到基膜的上下移動的影響,并且采用精度良好的薄膜測量大冢電子獨(dú)自的算法,可以作為實時監(jiān)視器使用。

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式樣

  MCPD-9800仕様

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  MCPD-6800仕様

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