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OPTM series 嵌入型

OPTM series 嵌入型

利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點(diǎn),在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。...

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產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品信息
  • 式樣

產(chǎn)品信息

  特 點(diǎn)

●膜厚測量范圍1nm~92μm(換算為SiO2)

●膜厚值高重復(fù)精度

●1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測量

●最小小點(diǎn)Φ3μm)中瞄準(zhǔn)模式

●最適合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對準(zhǔn)用圖像


  裝置組裝示意圖

1.png


  測量數(shù)據(jù)示意圖

2.png


  測量光點(diǎn)周邊圖像

3.png


  適應(yīng)過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等


  式樣

4.png




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