導(dǎo)航
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
● 采用分光干涉法
● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)（專利 第4834847號）
● 使用光學(xué)光纖，可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)
● 可嵌入至各種制造設(shè)備。
● 實(shí)時(shí)測量膜厚
● 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點(diǎn)測量
● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項(xiàng)目
● 多層膜厚解析
用 途
● 光學(xué)薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
● FPD相關(guān)（光刻膠、SOI、SiO2等）
設(shè)備構(gòu)成
單點(diǎn)型
● 半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量
● 玻璃基板的面內(nèi)分布測量
多點(diǎn)型
● 實(shí)時(shí)測量
● 流向品質(zhì)管理
● 真空室適用
導(dǎo)線型
● 實(shí)時(shí)測量
● 寬度方向品質(zhì)管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
