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產品信息
嵌入式膜厚檢測儀
產品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(專利 第4834847號) 使用光學光纖,可靈活構筑測量系統 可嵌入至各種制造設備。 實時測量膜厚 可對應遠程操作、多點測量...
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0512-62589919

產品信息

  特 點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(專利 第4834847號)

● 使用光學光纖,可靈活構筑測量系統

● 可嵌入至各種制造設備。

● 實時測量膜厚

● 可對應遠程操作、多點測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源


  測量項目

● 多層膜厚解析


  用 途

● 光學薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

● FPD相關(光刻膠、SOI、SiO2等)


設備構成

  單點型

1.jpg

● 半導體晶圓的面內分布測量

● 玻璃基板的面內分布測量


  多點型

2.jpg

● 實時測量

● 流向品質管理

● 真空室適用


  導線型

3.jpg

● 實時測量

● 寬度方向品質管理


測量案例

  超硬涂層的膜厚解析


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