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PRODUCT
產品信息
Load Port對應膜厚測量系統 GS-300
產品信息 特點 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口 實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊 支持半導體工藝的高吞吐量要求 支持槽口對齊功能 小尺寸規格 高精度自動校準單元 自動...
全國熱線
0512-62589919

產品信息

  特點

● Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

● 實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊

● 支持半導體工藝的高吞吐量要求

● 支持槽口對齊功能

● 小尺寸規格

● 高精度自動校準單元


  測量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸


特點

規格

自動Mapping系統式樣表
名稱自動Mapping系統Load Port對應膜厚儀
型式--GS-300 series
樣品臺方式X-Y樣品臺R-θ樣品臺
光學系測量探頭 CCD相機同軸顯微測量頭 IR相機
最大晶圓尺寸150mm以下300mm以下僅Ф300mm
晶圓角度補正
Pattern對準
晶圓厚度范圍視分光干涉式晶圓厚度傳感器的式樣而定
設備尺寸(W×D×H)mm本體:570x600x780
控制器:500x273x177
(PC、顯示器尺寸除外)
本體:773x760x600
控制器:350x310x120
LED電源:90x160x80
(PC、顯示器尺寸除外)
500x500x1680
內置PC
(顯示器、鍵盤尺寸除外)


測量示例

  測量示例

1-210S119343TK.jpg


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