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導航
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PRODUCT
產(chǎn)品信息
嵌入式膜厚檢測儀
產(chǎn)品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(專利 第4834847號) 使用光學光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng) 可嵌入至各種制造設備。 實時測量膜厚 可對應遠程操作、多點測量...
全國熱線
0512-62589919

產(chǎn)品信息

特 點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(專利 第4834847號)

● 使用光學光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設備。

● 實時測量膜厚

● 可對應遠程操作、多點測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

測量項目

多層膜厚解析

用 途

光學薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

FPD相關(光刻膠、SOI、SiO2等)


設備構(gòu)成

單點型

1.jpg

半導體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點型

2.jpg

實時測量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導線型

3.jpg

實時測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

4.jpg

設備構(gòu)成

單點型

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半導體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點型

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實時測量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導線型

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實時測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

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