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PRODUCT
產品信息
相位差測量裝置 RETS-100nx New
產品信息 特 點 采用了偏光光學系和多通道分光檢出器 有可對應各種尺寸的裝置,從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板 安全對策和粒子對策,可對應液晶line內的檢查設備 測量項目...
全國熱線
0512-62589919

產品信息

特 點

使用獨有的光譜儀實現高精度測量

精度高的原因

● 使用獨有的高性能多通道光譜儀(型號:MCPD)對光譜進行解析
● 可獲取較多的透過率信息 實現高精度測量
(獲得的透射率信息約為 500 波長,是其他公司產品的約50 倍)。

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超高相位差測量-超雙折射薄膜可高速、高精度測量

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軸角度補正功能-即使樣品放置有偏離,也可輕松、再現性良好的進行測量

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便捷的軟件-極大縮短測量時間與處理時間,操作性大幅UP

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產品規格

測量項目(薄膜、光學材料)

相位差(波長分散)、慢軸、RTH*1、3次元折射率*1等

測量項目(偏光片)

吸收軸、偏光度、消光比、各種色度、各種透過率等

測量項目(液晶cell)

cell gap、預傾角*1 、扭曲角、配向角等

位相差測量范圍

0~60,000nm

相位差重復性

3σ≦0.08nm(水晶波長板 約600nm)

cell gap 測量范圍

0~600μm(Δn=0.1時)

cell gap 重復性

3σ≦0.005μm(cell gap 約3μm、Δn=0.1時)

軸檢測重復性

3σ≦0.08°(水晶波長板 約600nm)

測量波長范圍

400~800nm(其他可選)

檢測器

多通道光譜儀

測量徑

φ2㎜(標準規格)

光源

100W halogen lamp

數據處理部

個人計算機、顯示器

樣品臺尺寸:標準

100㎜×100㎜(固定樣品臺)

option

·超高相位差測量
·多層測量
·軸角度補正功能
· 自動XY樣品臺·自動傾斜旋轉樣品臺

*1:必須配備自動傾斜旋轉樣品臺。(option)


測量案例

固定樣品臺

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自動傾斜旋轉樣品臺

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自動XY樣品臺

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