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導(dǎo)航
導(dǎo)航
PRODUCT
產(chǎn)品信息
OPTM series 嵌入型
利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。...
全國熱線
0512-62589919

產(chǎn)品信息

特　點

● 膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）

● 膜厚值高重復(fù)精度

● 1點1秒以內(nèi)的高速測量

● 最小小點Φ3μm）中瞄準模式

● 最適合圖案晶片的膜厚映射

● 能夠取得圖案對準用圖像

裝置組裝示意圖

1.png

測量數(shù)據(jù)示意圖


2.png


測量光點周邊圖像

3.png


適應(yīng)過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等


產(chǎn)品規(guī)格

4.png


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