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MCPD series 嵌入式膜厚測試型

MCPD series 嵌入式膜厚測試型

本公司的MCPD series,由于采用柔軟纖維的事,從In-Situ到內聯各種各樣的地方和用途的編入成為可能。測量原理為分光干涉方式,在實現高測量再現性的同時,還支持多層厚度測量。通過采用獨自算法,可以高速實時監控。...

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0512-62589919
產品介紹
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  • 式樣

產品信息

特 點

●膜厚測量范圍65nm~92μm(換算為SiO2)

●最短曝光時間1ms~※根據規格

●由于是柔性纖維光學系統,容易組裝到半導體工藝裝置中

●可從上層遠程控制

●最適合于研磨中膜厚終點檢測

基本配置

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裝置組裝示意圖


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測量案例

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適應過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝

等等


仕様

MCPD-9800仕様

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MCPD-9800仕様

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