導(dǎo)航
產(chǎn)品信息
特 點
● 膜厚測量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）
● 最短曝光時間1ms~※根據(jù)規(guī)格
● 由于是柔性纖維光學(xué)系統(tǒng)，容易組裝到半導(dǎo)體工藝裝置中
● 可從上層遠(yuǎn)程控制
● 最適合于研磨中膜厚終點檢測
基本配置
裝置組裝示意圖
測量案例
適應(yīng)過程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝
等等
產(chǎn)品規(guī)格
MCPD-9800仕様
| 型號 | MCPD-9800 | ||||
2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |
| 測量波長范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 |
| 膜厚范圍※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm |
| 膜厚/反射/透過/相位差 | 〇 | ||||
| 色測量 | 〇 | x | |||
| 掃描時間 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||
| 光斑直徑 | φ1.2mm | ||||
| 光纖長度 | 1m～長度需相商 | ||||
※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定
MCPD-6800仕様
| 型號 | MCPD-6800 | |||
2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 測量波長范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 膜厚范圍※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 膜厚/反射/透過/相位差/色測量 | 〇 | |||
| 掃描時間 | 16ms～65s | |||
| 光斑直徑 | φ1.2mm | |||
| 光纖長度 | １ｍ～ 長度需相商 | |||
※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定
