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導航
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PRODUCT
產品信息
Smart膜厚儀
● 可攜帶至現場的手持式

● 可測量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量

● 不論基材材質、可測量其鍍膜
全國熱線
0512-62589919

產品信息

特點

● 可攜帶至現場的手持式

● 可測量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量

● 不論基材材質、可測量其鍍膜


測量項目

膜厚測量范圍

1μm~50μm

測量重復性

0.01μm

測量時間

1秒以下


Smart手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較

●與桌上型光學膜厚儀相比,Smart膜厚儀在“現場”以非破壞式直接量測樣品,且可以量測特殊形狀樣品。

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與接觸式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不僅不會破壞您的樣品,也不會因用戶不同而產生誤差且遠高于接觸式膜厚的量測精度。

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與渦電流/電磁式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不需要制作檢量線,且可以量測非金屬基材并且得到絕對值!

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不需要量測經驗,可快速得到精準的膜厚結果。

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規格樣式

量測原理

反射分光法(光干涉法)、非破壞性量測

膜厚量測范圍

1~50μm(顯示上限60μm)

重復精度

2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)

量測時間

1秒內

量測層數

1層

數據輸出

附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案

量測Spot

Φ1mm以下

重量

約1.1kg

選配

筆型探頭

能夠測量狹窄區域或形狀的樣品。 探頭尖端Φ6mm。

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非接觸式載臺

對于濕膜或半導體晶圓等不想接觸的樣品,可以通過自由設定探頭位置進行非接觸測量。

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使用場景

產品開發-量測試作品

1.攜帶到合作廠商等,直接在現場量測效率Up

2.試作階段的檢查方法商定效率Up

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產線-設定產線參數、提高良率

1.現場可直接量測,無須準備,量測時間短、效率Up

2.產品檢查的早期階段發現問題,事后的對策更加靈活

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質量管理-品管效率Up

1.現場可直接量測高精度量測成品,盡早發現不良品異狀

2.事后的對策可更加靈活

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After Service-活用可攜帶的優點

在產品出貨后的客戶端也可直接帶去量測。

現場較難量測的立體物、無法切割破壞的樣品(例如:窗戶的Coating等)。

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