導(dǎo)航
產(chǎn)品信息
特點
● 可攜帶至現(xiàn)場的手持式
● 可測量0.1μm單位
● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量
● 不論基材材質(zhì)、可測量其鍍膜
測量項目
膜厚測量范圍 | 1μm～50μm |
測量重復(fù)性 | 0.01μm |
測量時間 | 1秒以下 |
Smart手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較
●與桌上型光學(xué)膜厚儀相比，Smart膜厚儀在“現(xiàn)場”以非破壞式直接量測樣品，且可以量測特殊形狀樣品。
●與接觸式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不僅不會破壞您的樣品，也不會因用戶不同而產(chǎn)生誤差且遠高于接觸式膜厚的量測精度。
●與渦電流/電磁式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不需要制作檢量線，且可以量測非金屬基材并且得到絕對值！
不需要量測經(jīng)驗，可快速得到精準的膜厚結(jié)果。
規(guī)格樣式
量測原理 | 反射分光法（光干涉法）、非破壞性量測 |
膜厚量測范圍 | 1~50μm（顯示上限60μm） |
重復(fù)精度 | 2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm） |
量測時間 | 1秒內(nèi) |
量測層數(shù) | 1層 |
數(shù)據(jù)輸出 | 附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案 |
量測Spot | Φ1mm以下 |
重量 | 約1.1kg |
選配
筆型探頭
能夠測量狹窄區(qū)域或形狀的樣品。 探頭尖端Φ6mm。
非接觸式載臺
對于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品，可以通過自由設(shè)定探頭位置進行非接觸測量。
使用場景
產(chǎn)品開發(fā)-量測試作品
1.攜帶到合作廠商等，直接在現(xiàn)場量測效率Up
2.試作階段的檢查方法商定效率Up
產(chǎn)線-設(shè)定產(chǎn)線參數(shù)、提高良率
1.現(xiàn)場可直接量測，無須準備，量測時間短、效率Up
2.產(chǎn)品檢查的早期階段發(fā)現(xiàn)問題，事后的對策更加靈活
質(zhì)量管理-品管效率Up
1.現(xiàn)場可直接量測高精度量測成品，盡早發(fā)現(xiàn)不良品異狀
2.事后的對策可更加靈活
After Service-活用可攜帶的優(yōu)點
在產(chǎn)品出貨后的客戶端也可直接帶去量測。
現(xiàn)場較難量測的立體物、無法切割破壞的樣品（例如：窗戶的Coating等）。
